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3-D capacitive MEMS sensors co-integrated with SOI ...Université catholique de Louvain
dial.uclouvain.be
von N André · · Zitiert von: 5 — Bibliographic reference, André, Nicolas ; Rue, Bertrand ; Renaux, Christian ; Flandre, Denis ; Raskin, Jean-Pierre. 3-D capacitive MEMS sensors ... › object
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