Dirk Rexhaeuser - Info zur Person mit Bilder, News & Links

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patentbuddy: Dirk Rexhaeuser

CARL ZEISS SMT GMBH, Masserberg, DE

Sonstiges

EP A1 - Vorrichtung zur positionierung eines optischen...

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Inventors, Hubert Holderer, Dirk Rexhaeuser, Ulrich Weber. Applicant, Carl Zeiss SMT AG. Export Citation, BiBTeX, EndNote, RefMan. Non-Patent Citations (1), ...

WO A1 - Device for positioning an optical element in a...

patents.google.com

Uitvinders, Ulrich Weber, Hubert Holderer, Dirk Rexhaeuser. Aanvrager, Carl Zeiss Smt Ag. Citatie exporteren, BiBTeX, EndNote, RefMan. Patentcitaties (7) ...

WO A1 - Procede pour fixer un element optique a une...

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La présente invention concerne un procédé pour fixer un élément optique à une structure de maintien, dont une première étape consiste à relier l'élément...

US B2 - Apparatus for positioning an optical element in a...

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In an apparatus for positioning an optical element in a structure, particularly in an objective housing of a projection objective for microlithography,...

US B2 - Method for connection of an optical element to a mount...

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The invention relates to a method for connection of an optical element to a mount structure, whereby in a first step the optical element is connected to...

WO A1 - Vorrichtung zur positionierung eines optischen...

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Авторы изобретения, Hubert Holderer, Dirk Rexhaeuser, Ulrich Weber. Заявитель, Zeiss Carl Smt Ag US , 27 апр 2010, 11 окт 2011, Carl Zeiss Smt Gmbh, Positioning unit and alignment device for an optical element.

WO A1 - Verfahren zum verbinden eines optischen elements mit...

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Bei einem Verfahren zum Verbinden eines optischen Elements mit einer Haltestruktur wird in einem ersten Schritt das optische Element mit der Haltestruktur...

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