Florian Krippendorf und Michael Rüb - Info zur Person

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Wie Ionen implantiert werden - mi2-factory aus Jena enwickelt ...www.aufbaubank.de › Infothek › Aktuelles › Wie-Ionen-implantiert-werde...

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· Die Gesellschafter der mi2-factory GmbH v.l.n.r.: Constantin Csato, Florian Krippendorf, Benjamin Tom, Michael Rüb Was unterscheidet diese ...

12 th European Conference on Accelerators in Applied Research and...

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54 Contributed talks O-5 Depth profiled ion implantation doping using an energy filter based on Si membrane *Shavkat Akhmadaliev 1, Florian Krippendorf 2,3, Erika Braga Diniz Bezerra 2, Johannes von Borany 1, Constantin Csato 2,3, Michael Rüb 2, André Zowalla 2 1 Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, ...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam...

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Energy filter for tailoring depth profiles in semiconductor doping application. Original Research Article; Pages ; Constantin Csato, Florian Krippendorf, Shavkat Akhmadaliev, Johannes von Borany, Weiqi Han, Thomas Siefke, Andre Zowalla, Michael Rüb. Abstract; PDF (1115 K). Entitled to full text ...

WO A1 - Method and device for implanting ions in wafers...

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... beam scattering element" - Weiqi Han, Constantin Csato, Florian Krippendorf, Michael Rüb, Carsten Ronning, DPG Spring Conference Dresden, March

Final Program. Greece September Going Nano in Homer s land ...docplayer.gr › ...

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... ion implantation Tamas Steinbach, Constantin Csato 2, Florian Krippendorf 2, Florian Letzkus, Michael Rüb 2,3, Joachim Burghartz Institut Für Mikroelektronik ...

Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft

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Investigation of dopant profiles, losses and heating using an energy filter for ion implantation — • Florian Krippendorf, Constantin Csato, Michael Rüb, Carsten Ronning, and Johannes von Borany: 15:15: DS 17.6

Peter Friedrichs (Infineon Technologies AG, Germany) Francesco La Via...

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... Ronny Kern 2, Michael Rüb 3, Constantin Csato 3, Florian Krippendorf 3, Johannes von Borany 4 Infineon Technologies AG, Germany, 2) Infineon Technologies AG, Austria, 3) Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Germany, 4) HZDR, Germany Mo-1B-2 Al doping from laser irradiated Al film deposited on 4H-SiC Akihiro Ikeda 1, ...

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