Oliver Zitzen und Spie - Info zur Person

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Emerging Lithographic Technologies X | (2006) | Publications | Spie

spie.org

EUV pellicle development for mask defect control Stefan Seiwert; Guido Siemons; Dominik Vaudrevange; Dirk Wagemann; Achim Weber; Oliver Zitzen.

Emerging Lithographic Technologies XII | (2008) | Publications | Spie

spie.org

— ... Guido Seimons; Rob Snijkers; Dominik Vaudrevange; Erik Wagenaars; Peiter van de Wel; Masaki Yoshioka; Peter Zink; Oliver Zitzen Sven Probst; Ralph Prümmer; Oliver Rosier; Stefan Schwabe; Stefan Seiwert; Guido Siemons; Dominik Vaudrevange; Dirk Wagemann; Achim Weber; Oliver Zitzen. › Volume

EUV sources for the alpha-tools | CiNii Research国立情報学研究所

cir.nii.ac.jp

Oliver Zitzen · Michael J. Lercel: editor. 収録刊行物. SPIE Proceedings. SPIE Proceedings SPIE. 被引用文献 (1)*注記. 読み込み中... もっと見る ...

EUV sources for the alpha-tools - SPIE Digital Librarywww.spiedigitallibrary.org › full

www.spiedigitallibrary.org

... Oliver Zitzen. Author Affiliations +. Joseph Pankert,1 Rolf Apetz,1 Klaus Bergmann,2 Marcel Damen,1 Günther Derra,3 Oliver Franken,2 Maurice Janssen,1 Jeroen ...

Sn DPP source-collector modules: status of alpha ...SPIE Digital Library

www.spiedigitallibrary.org

von M Corthout · · Zitiert von: 23 — ... and Oliver Zitzen "Sn DPP source-collector modules: status of alpha resources, beta developments, and the scalability to HVM", Proc.

Xenon DPP source technologies for EUVL exposure toolswww.academia.edu ›

www.academia.edu

... Oliver Zitzen, “Sn DPP source-collector modules: Status of Alpha sources, Beta developments and HVM experiments”, Proc. SPIE (2009), this ...

放电等离子体极紫外光谱测量及分析www.cglhub.com › auto › detail

www.cglhub.com

... Oliver Zitzen. EUV Sources for the Alpha-Tools. SPIE ,6151,51510Q: M. Hawryluk and L. G. Seppala. J. Soft x-ray projection lithography using an x ...

放电等离子体极紫外光谱测量及分析cgl.org.cn

www.cgl.org.cn

... Guido Siemons, Dominik Vaudrevange, Dirk Wagemann, Achim Weber, Peter Zink, Oliver Zitzen. EUV Sources for the Alpha-Tools. SPIE ,6151,51510Q:1-9

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