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(Antragstellerinnen / Antragsteller Behrens, Peter ; Houbertz, Ruth ; Tünnermann, Andreas ; Walles, Heike ). Monolithische Integration photonischer Peter ; Houbertz, Ruth ; Tünnermann, Andreas ; Walles, Heike ); Messverfahren zur In-Prozess-Charakterisierung optisch erzeugter Sub-100-nm-Strukturen ... › gepris › institution › gepris › projekt

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