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News
Kultusminister Goebel verleiht Thüringer Forschungspreis 2007,...
www.pressebox.de
Thüringer Ministerium für Bildung, Jugend und Sport, Die Preisträger des Thüringer Forschungspreises stehen fest. Am 14. Februar wird Thüringens...
Leistungsschub für Mikrochips - Innovations Report
www.innovations-report.de
Gemeinsam entwickelten sie wesentliche Komponenten für die EUV-Lithografie: Dr. Torsten Feigl, Dr. Stefan Braun und Dr. Klaus Bergmann ...
2nd SOLAYER International Optics Symposium 2018
optics.org
28 November Quality Hotel Dresden West / Kesselsdorf Dresden, Saxony, Germany
Netzwerk-Profile
Torsten Feigl auf LinkedIn: From Call Center to High Tech Fablinkedin.com
de.linkedin.com
› posts › torsten-feigl _f...
LinkedIn: Torsten Feigl | LinkedIn
Sehen Sie sich Torsten Feigls vollständiges Profil an – völlig kostenlos. Ihre Kollegen, Kommilitonen und 500 Millionen weitere Fach- und Führungskräfte sind ...
LinkedIn: Torsten Feigl | LinkedIn
Torsten Feigls berufliches Profil anzeigen LinkedIn ist das weltweit größte berufliche Netzwerk, das Fach- und Führungskräften wie Torsten Feigl dabei hilft, ...
Interessen
Technology Advances for Pilotline of Enhanced Semiconductors for ...europa.eu
cordis.europa.eu
... Maximilian Smit, Arnold J. Storm, Norbert Koster, Henk A. Lensen, Vicky Philipsen, Karl Opsomer, Devesh Thakare, Torsten Feigl, Philipp Naujok › results
Torsten Feigl - Patents
www.freshpatents.com
Torsten Feigl patents. Recent bibliographic sampling of Torsten Feigl patents listed/published in the public domain by the USPTO (USPTO Patent Application # ...
Business-Profile
Xing: Torsten Feigl
Dr. / Geschäftsführer / Jena / EUV und Röntgenoptik, Herstellung und Analyse dünner Schichten/Schichtsysteme / , Fraunhofer IOF
Bücher
Publications | NISTNational Institute of Standards and Technology (.gov)
www.nist.gov
... Lee J. Richter, Steven E. Grantham, Charles S. Tarrio, Thomas B. Lucatorto, Sergiy Yulin, Mark Schurmann, Viatcheslav Nesterenko, Torsten Feigl. › publications
Sergiy Yulin | 55 Publications | 499 Citations | Related AuthorsTypeset
typeset.io
Torsten Feigl, Sergiy Yulin, Nicolas Benoit, Norbert Kaiser. 31 Mar Microelectronic Engineering. Abstract: According to the optics requirements of an ... › authors
Short Wavelength Laboratory Sourcesgoogle.pl
books.google.pl
ACKNOWLEDGEMENTS The authors would like to thank André Egbert, Klaus Eidmann, Torsten Feigl, Michel Fokoua, Thomas Mißalla, Antonio Ritucci, Max-Christian ...
Dokumente zum Namen
EUV multilayer optics at the Fraunhofer IOF - OSAwww.osapublishing.org › abstract
opg.optica.org
EUV multilayer optics at the Fraunhofer IOF. Norbert Kaiser, Sergiy Yulin, Torsten Feigl, Nicolas Benoit, and Andreas Tünnermann. Author Information ...
Dual-Wavelength Spectral Purity Filter for EUV Collector Mirrors
euvlsymposium.lbl.gov
Purity Filter for EUV. Collector Mirrors. Torsten Feigl, Marco Perske, Hagen Pauer, Tobias Fiedler. optiX fab GmbH. Uwe Zeitner, Robert Leitel, André Matthes, ...
EBSCOhost | | EUV damage threshold measurements of Mo/Si...
web.a.ebscohost.com
Matthias Müller · Frank Barkusky · Torsten Feigl ·. Klaus Mann. Received: 12 June Accepted: 26 June Published online: 10 July ...
Progress in short period multilayer coatings for water window ...eScholarship.org
escholarship.org
von EM Gullikson · · Zitiert von: 23 — 2 T Kuhlmann, Sergey Yulin, Torsten Feigl, Norbert Kaiser, Tatiana Gorelik, Ute Kaiser, Wolfgang. Richter, “Chromium-Scandium Multilayer Mirrors for the ... › content
Wissenschaftliche Veröffentlichungen
Damage Resistant and Low Stress EUV Multilayer MirrorsInstitute of Physics
iopscience.iop.org
von T Feigl · · Zitiert von: 29 — Torsten Feigl, Sergiy Yulin, Thomas Kuhlmann and Norbert Kaiser. Copyright (c) The Japan Society of Applied Physics › meta
Optics Communications | Vol 281, Issue 11, Pages ScienceDirect
www.sciencedirect.com
Igor Kozhevnikov, Sergiy Yulin, Torsten Feigl, Norbert Kaiser. Pages : Download PDF. Article preview. select article Two channel multilayer mirrors ... › i...
DoKDoK Abbe School of PhotonicsFriedrich-Schiller-Universität Jena
www.asp.uni-jena.de
... Friedrich Schiller University Jena. "Optics & Photonics: Competences for Research in Academia & Industry". Dr. Torsten Feigl Image: Private ... › dok...
Performance boost for microchips - ScienceDailyScience Daily
www.sciencedaily.com
— Torsten Feigl from the Fraunhofer Institutes for Laser Technology ILT Aachen, for Material and Beam Technology IWS Dresden and for Applied ... › 2...
Veröffentlichungen allgemein
EUV damage threshold measurements of Mo/Si multilayer ...springer.com
link.springer.com
von M Müller · · Zitiert von: 15 — Matthias Müller · Frank Barkusky · Torsten Feigl ·. Klaus Mann. Received: 12 June Accepted: 26 June Published online: 10 July ... › content › pdf
Tagungsprogramm - ThGOTThGOT
www.thgot.de
Torsten Feigl, optiX fab GmbH, Jena. Multilayerspiegel für die nächste Generation der. EUV- Lithographie. Philipp Naujok, Fraunhofer-Institut für Angewandte ... › uploads ›
High-temperature LPP collector mirror | (2006) | Feigl |...
spie.org
Torsten Feigl, Fraunhofer IOF (Germany) Sergiy Yulin, Fraunhofer IOF (Germany) Nicolas Benoit, Fraunhofer IOF (Germany) Norbert Kaiser ...
Artikel & Meinungen
Wikipedia: Thüringer Forschungspreis – Wikipedia
Seit vergibt der Freistaat Thüringen jährlich den Thüringer Forschungspreis durch das Torsten Feigl (Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik Jena); Sergiy Yulin (Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und ...
Sonstiges
Torsten Feigl | LinkedIn
www.linkedin.com
View Torsten Feigl's professional profile on LinkedIn. LinkedIn is the world's largest business network, helping professionals like Torsten Feigl discover inside ...
The two pulses two wavelength driver of EUV radiation LPP source and...
slideplayer.com
Collaborators of the Project 1.Gerry O’Sullivan, 2.John Costello, 3.Torsten Feigl, 4.Peter Choi, 5.Ladislav Pina, all COST MP0601 participants
Radtourer und die bereisten Länder, Afrika, die Welt, alle Kontinente
soziales4u.de
Radtour durch Afrika.
Tipps fuer Radtourer und Sozialarbeiter
high-infra-red reflectance coating - Englisch-Deutsch Übersetzung ...PONS dictionary
de.pons.com
... combined high EUV reflectance with high thermal and radiation stability onto the strongly curved collector surface ” , said Torsten Feigl from IOF . › ... › Englisch » Deutsch
Torsten Feigl, Jena - Geschäftsführer der optiX fab GmbH
www.companyhouse.de
Web Bestellt: Geschäftsführer: Torsten Feigl, Jena einzelvertretungsberechtigt; mit der Befugnis, im Namen der Gesellschaft mit sich im eigenen Namen oder als …
Torsten Feigl email address & phone number | Optix Fab Chief ...RocketReach
rocketreach.co
› torsten-fei...
Torsten Feigl's research works | Fraunhofer ResearchGateResearchGate
www.researchgate.net
› Torsten-Feigl
Fig. 1 Citation Marcus Trost, Sven Schröder, Torsten Feigl, Angela ...osapublishing.org
www.osapublishing.org
› viewmedia
Fig. 6. Citation Sven Schröder, Torsten Feigl Optics ImageBank
imagebank.osa.org
Sven Schröder, Torsten Feigl, Angela Duparré, Andreas Tünnermann, "EUV reflectance and scattering of Mo/Si multilayers on differently polished substrates," ...
Fraunhofer-Preis für Dr. Torsten Feigl - Fraunhofer IOF
www.iof.fraunhofer.de
Seit verleiht die Fraunhofer-Gesellschaft alljährlich Preise für herausragende wissenschaftliche Leistungen. Mehr als 200 Forscherinnen und Forscher, die ...
EUV-Lithographie bringt Forschern Auszeichnung ein
www.elektronikpraxis.de
Für die Entwicklung wesentlicher Elemente für die EUV-Lithographie in der Chipherstellung sind Wissenschaftler der Fraunhofer-Institute ILT, IWS und IOF mit...
Optical Performance of 5.5 sr LPP Multilayer CollectorsLawrence Berkeley National Laboratory (.gov)
euvlsymposium.lbl.gov
Torsten Feigl, Hagen Pauer, Marco Perske, Sergiy Yulin,. Marcus Trost, Sven Schröder, Angela Duparré, Norbert Kaiser,. Andreas Tünnermann. Fraunhofer IOF. › pdf › pres
Coating the most precise mirrors in the world - Bühler GroupBuhler Group
www.buhlergroup.com
Torsten Feigl, CEO of optiX fab. “Imagine a millimeter divided in a thousand, that is a micrometer. Now divide a micrometer again by a thousand, that is a ... › o...
2015 International Workshop on EUV Lithography - PDF Free Download
docplayer.net
... Padraig Dunne (University College Dublin) Akira Endo (Waseda University) Masayuki Endo (Panasonic) Torsten Feigl (optixfab) Gregg Gallatin (Applied Math ...
Damage Resistant and Low Stress EUV Multilayer Altmetriciop.altmetric.com › details
iop.altmetric.com
Japanese Journal of Applied Physics, June DOI, jjap Authors. Torsten Feigl, Sergiy Yulin, Thomas Kuhlmann, Norbert Kaiser ...
High-temperature LPP collector mirror - SPIE Digital LibrarySPIE Digital Library
www.spiedigitallibrary.org
von T Feigl · · Zitiert von: 10 — Torsten Feigl, Sergiy Yulin, Nicolas Benoit, Norbert Kaiser, Norbert R. Böwering, Alex I. Ershov, Oleh V. Khodykin, John W. Viatella, Kent Bruzzone,. von T Kuhlmann · · Zitiert von: 32 — Thomas Kuhlmann, Sergey A. Yulin, Torsten Feigl, Norbert Kaiser, Helmut. Bernitzki, Hans Lauth, "Design and fabrication of broadband EUV multilayer. › pdf › Download
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