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Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen Frank Scholze*, Anton Haase, Michael Krumrey, Victor Soltwisch, Jan Wernecke * Dr. Frank Scholze, ...
Characterization of Ru4-xTax (x = 1,2,3) alloy UGent BiblioUGent Biblio
biblio.ugent.be
von M Wu · · Zitiert von: 11 — ... Victor Soltwisch, Frank Scholze, and Vicky Philipsen “Characterization of Ru4-XTax (x = 1,2,3) Alloy as Material Candidate for EUV ... von M Wu · · Zitiert von: 11 — ... Victor Soltwisch, Frank Scholze, and Vicky Philipsen “Characterization of Ru4-XTax (x = 1,2,3) Alloy as Material Candidate for EUV ...
Determination of optical constants of thin films in the EUVUGent Biblio
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von R Ciesielski · · Zitiert von: 22 — ... Victor Soltwisch “Determination of Optical Constants of Thin Films in the EUV.” APPLIED OPTICS 61 (8): 2060– doi: AO ... von R Ciesielski · · Zitiert von: 22 — ... Victor Soltwisch “Determination of Optical Constants of Thin Films in the EUV.” APPLIED OPTICS 61 (8): 2060– doi: AO ...
2021 EUVL Supplier Showcase Workshop Proceedings.docxEUV Litho, Inc.
www.euvlitho.com
Michael Kolbe, Victor Soltwisch, Frank Scholze. PTBD Braunschweig. TNO, R&D service provider for the EUV Semiconductor Industry (SS10). Michael Kolbe, Victor Soltwisch, Frank Scholze. PTBD Braunschweig. TNO, R&D service provider for the EUV Semiconductor Industry (SS10).
Comparison of CD measurements of an EUV photomask by EUV...
www.deepdyve.com
Frank Scholze, Victor Soltwisch, Gaoliang Dai, Mark-Alexander Henn, Hermann Gross. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, -12, Berlin, ...
Synchrotron-radiation based EUV metrology at PTBEUV Litho, Inc.
www.euvlitho.com
Michael Kolbe, Victor Soltwisch, Frank Scholze. · https://www.ptb.de/cms/en/ptb ... Michael Kolbe, Victor Soltwisch, Frank Scholze. · https://www.ptb.de/cms/en/ptb ...
Analysis of Line-Edge Roughness Using EUV ScatterometrySpringer
link.springer.com
von A Fernández Herrero · · Zitiert von: 5 — Victor Soltwisch. Show authors Accesses. 3 Citations. 3 Altmetric. Explore ... Frank Scholze & Victor Soltwisch. Physikalisch-Technische ... von A Fernández Herrero · · Zitiert von: 5 — Victor Soltwisch. Show authors Accesses. 3 Citations. 3 Altmetric. Explore ... Frank Scholze & Victor Soltwisch. Physikalisch-Technische ...
Spatially resolved reflectometry for EUV optical components | (2018)...
spie.org
Christian Buchholz, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) Victor Soltwisch, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany)
Open Access Repository of the Physikalisch-Technische Bundesanstalt
oar.ptb.de
Scholze, Frank, Anton Haase, Michael Krumrey, Victor Soltwisch und Jan Wernecke: Streuverfahren an nanostrukturierten Oberflächen. doi: ...
7.14 EUV-Nanometrology - PTB.de
www.ptb.de
Contact. Head of Working Group. Dr. Victor Soltwisch. Phone: (030) Email: victor.soltwisch(at)ptb.de. Address. Physikalisch-Technische ...
Vantar: Book Demand"
7.14 EUV-Nanometrologie - Optische Konstanten - PTB.dePhysikalisch-Technische Bundesanstalt
www.ptb.de
... Victor Soltwisch. Telefon: (030) E-Mail: victor.soltwisch(at)ptb.de. Anschrift. Physikalisch-Technische Bundesanstalt – Berlin Victor Soltwisch. Telefon: (030) E-Mail: victor.soltwisch(at)ptb.de. Anschrift. Physikalisch-Technische Bundesanstalt – Berlin ...
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
www.dpg-verhandlungen.de
12:15, DS 1.11, Dynamic Effects in the Power Spectral Density Determination of Multilayers with EUV Light — •Anton Haase, Victor Soltwisch, Christian Laubis, ...
Es fehlt: book demand
DS 21: Optical Analysis of Thin Films - DPG-Verhandlungendpg-verhandlungen.de
www.dpg-verhandlungen.de
DS 21.9, Exploring the optical constants of ruthenium (Ru) through EUV metrology:a study on thin films — •Samira Naghdi and Victor Soltwisch. 50%, 70%, 80%, DS 21.9, Exploring the optical constants of ruthenium (Ru) through EUV metrology:a study on thin films — •Samira Naghdi and Victor Soltwisch. 50%, 70%, 80%,
Determination of line profile on nanostructured surfaces ...KOBV
opus4.kobv.de
von V Soltwisch · · Zitiert von: 10 — Determination of line profile on nanostructured surfaces using EUV and x-ray scattering. Victor Soltwisch, Jan Wernecke, Anton Haase, Jürgen Probst, Max ... von V Soltwisch · · Zitiert von: 10 — Determination of line profile on nanostructured surfaces using EUV and x-ray scattering. Victor Soltwisch, Jan Wernecke, Anton Haase, Jürgen Probst, Max ...
Mask absorber development to enable next-generation EUVL
www.spiedigitallibrary.org
... Christian Laubis, Philipp Hönicke, Victor Soltwisch, and Eric Hendrickx "Mask absorber development to enable next-generation EUVL", Proc.
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
www.dpg-verhandlungen.de
17:30, KFM 26.7, Analysis of rough nanostructured surfaces by EUV-scatterometry — •Analía Fernández Herrero, Frank Scholze, and Victor Soltwisch.
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
www.dpg-verhandlungen.de
Berlin – wissenschaftliches Programm ... surfaces by EUV-scatterometry — •Analía Fernández Herrero, Frank Scholze, and Victor Soltwisch. 17:50, DS ...
High-precision optical constants characterization of ...SPIE Digital Library
www.spiedigitallibrary.org
von V Soltwisch · · Zitiert von: 2 — ... Victor Soltwisch, "Determination of optical constants of thin films in the EUV ... Heiko Mentzel, Anja Schönstedt, Victor Soltwisch, and Frank Scholze, "Time ... von V Soltwisch · · Zitiert von: 2 — ... Victor Soltwisch, "Determination of optical constants of thin films in the EUV ... Heiko Mentzel, Anja Schönstedt, Victor Soltwisch, and Frank Scholze, "Time ...
Publishable Summary for 20IND04 ATMOC Traceable ...EURAMET
www.euramet.org
Buchholz, Christian Stadelhoff, Thomas Wiesner, and Victor Soltwisch, “Nested Sampling aided determination of tantalum optical constants in the EUV spectral ... Buchholz, Christian Stadelhoff, Thomas Wiesner, and Victor Soltwisch, “Nested Sampling aided determination of tantalum optical constants in the EUV spectral ...
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