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Neue Investitionen in die Halbleiterforschung - Fraunhofer IISB und...
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Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB, Am Fraunhofer IISB in Erlangen wird gerade eine neue Anlage zur Ionenimplantation...
Neue Investitionen in die Halbleiterforschung – Innovations Report
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Volker Häublein Fraunhofer IISB , Erlangen, Germany Tel. + Fax + de Fraunhofer IISB: Das gegründete Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB betreibt angewandte Forschung und Entwicklung auf den Gebieten der Mikro ...
GMM-Nutzergruppen "Heißprozesse und RTP" und "Ionenimplantation"
www.iisb.fraunhofer.de
10. Mai · Dr.-Ing. Volker Häublein. Gruppenleiter Prozessentwicklung Si(C)-Prozesse. Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB Erlangen, Deutschland. Telefon +
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