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News
Fixe Schnecken-Babys in der Altmark geschlüpftMDR
www.mdr.de
— Bei der Grünen Woche haben Carmen und Bodo Kalkofen Schnecken aus Cobbel präsentiert. Bildrechte: MDR/Tom Gräbe. Schneckenhäuser und -schleim — Bei der Grünen Woche haben Carmen und Bodo Kalkofen Schnecken aus Cobbel präsentiert. Bildrechte: MDR/Tom Gräbe. Schneckenhäuser und -schleim ...
ALD/ALE to Showcase Advances in Atomic-Scale ...Lam Research Newsroom
newsroom.lamresearch.com
— Bodo Kalkofen, M. Silinskas (Otto von Guericke Univ.); M. Lisker (IHP GmbH, Leibniz‐Institut für Innovative Mikroelektronik); Y.S. Kim (Lam — Bodo Kalkofen, M. Silinskas (Otto von Guericke Univ.); M. Lisker (IHP GmbH, Leibniz‐Institut für Innovative Mikroelektronik); Y.S. Kim (Lam ...
und Gründerzentrum - Hugo-Junkers-Preis geht nach Magdeburg!TUGZ
www.tugz.ovgu.de
Bodo Kalkofen, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (FEIT), Institut für Mikro- und Sensorsysteme (IMOS), Halbleitertechnologie ... Bodo Kalkofen, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (FEIT), Institut für Mikro- und Sensorsysteme (IMOS), Halbleitertechnologie ...
ALPIN-Workshop Program and InformationAtomic Layer Process Innovation Network
alpin-germany.de
— Bodo Kalkofen (Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik) – BRICKS – A Modular Precursor Supply System for ALD or CVD. Program download — Bodo Kalkofen (Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik) – BRICKS – A Modular Precursor Supply System for ALD or CVD. Program download ...
Netzwerk-Profile
LinkedIn: Bodo Kalkofen | LinkedIn
Bodo Kalkofens berufliches Profil anzeigen LinkedIn ist das weltweit größte berufliche Netzwerk, das Fach- und Führungskräften wie Bodo Kalkofen dabei hilft, ...
NISE People | Max Planck Institute of Microstructure Physics
www.mpi-halle.mpg.de
Bodo Kalkofen. .de: Nano-Systems from ions, spins and electrons; Dongchang Kim + ; .de: B.0.42: Nano-Systems from ions, spins and electrons ; Jae-Keun Kim + ; jae-keun.kim@m ...
Business-Profile
Bodo KALKOFEN | Dr.-Ing., Dipl.-Phys. - ResearchGate
www.researchgate.net
Bodo KALKOFEN | Cited by 210 | of Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Magdeburg (OvGU) | Read 52 publications | Contact Bodo KALKOFEN
Ausbildung
Effect of cobalt doping concentration on the structural and ...Scholars Portal
resolver.scholarsportal.info
Bodo Kalkofen · ORCID ID · Jae Eun Jang · Y. S. Kim · Hyuk-Jun Kwon. Source Information. September 2019, Volume40(Issue9)Pages, p.1507To IEEE Electron ... Bodo Kalkofen · ORCID ID · Jae Eun Jang · Y. S. Kim · Hyuk-Jun Kwon. Source Information. September 2019, Volume40(Issue9)Pages, p.1507To IEEE Electron ...
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, BScholars Portal Journals
journals.scholarsportal.info
Bodo Kalkofen · Edmund P. Burte. Source Information. December 2006, Volume253(Issue1-2)Pages, p.232To Abstract. Shallow doping of silicon was carried out ... Bodo Kalkofen · Edmund P. Burte. Source Information. December 2006, Volume253(Issue1-2)Pages, p.232To Abstract. Shallow doping of silicon was carried out ...
Bücher
EVALUATION OF DIFFERENT METALORGANIC ...Taylor & Francis Online
www.tandfonline.com
von D RESO · · Zitiert von: 5 — Mindaugas Silinskas, Marco Lisker, Bodo Kalkofen, and Edmund P. Burte. Otto-von-Guericke-University, Institute of Micro and Sensor Systems,. Magdeburg ... von D RESO · · Zitiert von: 5 — Mindaugas Silinskas, Marco Lisker, Bodo Kalkofen, and Edmund P. Burte. Otto-von-Guericke-University, Institute of Micro and Sensor Systems,. Magdeburg ...
Bodo Kalkofen - INSPIREInspire HEP
inspirehep.net
Bodo Kalkofen. Author Identifier: B.Kalkofen.1. edit. Updated on Sep 1, Research works(0). Cited By. 0 Research works. Feedback ... Bodo Kalkofen. Author Identifier: B.Kalkofen.1. edit. Updated on Sep 1, Research works(0). Cited By. 0 Research works. Feedback ...
Integrated Ferroelectrics, Volume 110, Issue 1 (2009)Taylor & Francis Online
www.tandfonline.com
DENIS RESO, MINDAUGAS SILINSKAS, MARCO LISKER, BODO KALKOFEN & EDMUND P. BURTE. Pages: Published online: 19 Oct AbstractforEVALUATION OF DIFFERENT ... DENIS RESO, MINDAUGAS SILINSKAS, MARCO LISKER, BODO KALKOFEN & EDMUND P. BURTE. Pages: Published online: 19 Oct AbstractforEVALUATION OF DIFFERENT ...
DNB, Katalog der Deutschen NationalbibliothekDeutsche Nationalbibliothek
portal.dnb.de
Untersuchungen zum Dotieren von Silicium aus einer Oberflächenbelegung mit Phosphor in einem Kurzzeitprozess / von Bodo Kalkofen. Person(en), Kalkofen, Bodo ... Untersuchungen zum Dotieren von Silicium aus einer Oberflächenbelegung mit Phosphor in einem Kurzzeitprozess / von Bodo Kalkofen. Person(en), Kalkofen, Bodo ...
Dokumente zum Namen
Hot-Wire Chemical Vapor Deposition of Chalcogenide ...ACS Publications
pubs.acs.org
von A Abrutis · · Zitiert von: 65 — Mindaugas Šilinskas, Bodo Kalkofen, Ramasubramanian Balasubramanian, Anatoliy Batmanov, Edmund P. Burte, Nicole Harmgarth, Florian Zörner ... von A Abrutis · · Zitiert von: 65 — Mindaugas Šilinskas, Bodo Kalkofen, Ramasubramanian Balasubramanian, Anatoliy Batmanov, Edmund P. Burte, Nicole Harmgarth, Florian Zörner ...
Diffusion of Phosphorus and Boron from Atomic Layer Deposition...
onlinelibrary.wiley.com
Bodo Kalkofen. Institute for Micro and Sensor Systems (IMOS), University of MagdeburgMagdeburg, Germany. Search for more papers by this author
Thermoelectric Properties of Oxygen-Tuned ALD-Grown [Ca ACS Publications
pubs.acs.org
von J Lybeck · · Zitiert von: 24 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas, Felix Börrnert, Hyeon Han, Stuart S. P. Parkin. Atomic Layer Deposition ... von J Lybeck · · Zitiert von: 24 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas, Felix Börrnert, Hyeon Han, Stuart S. P. Parkin. Atomic Layer Deposition ...
Atomic Layer Deposition of the Conductive Delafossite ...IHP : Innovations for High Performance Microelectronics
www.ihp-microelectronics.com
von DJ Hagen · · Zitiert von: 6 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas,. Felix Börrnert, Hyeon Han, and Stuart S. P. Parkin*. DOI: admi ... von DJ Hagen · · Zitiert von: 6 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas,. Felix Börrnert, Hyeon Han, and Stuart S. P. Parkin*. DOI: admi ...
Wissenschaftliche Veröffentlichungen
Patents Assigned to Lam ResearchJustia
patents.justia.com
Kim, Edmund Burte, Bodo Kalkofen. Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems. Patent number: Abstract: Systems and techniques for ... Kim, Edmund Burte, Bodo Kalkofen. Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems. Patent number: Abstract: Systems and techniques for ...
Investigation of Antimony Oxide Films Deposited by Atomic ...IOPscience
iopscience.iop.org
von B Kalkofen · · Zitiert von: 8 — To cite this article: Bodo Kalkofen et al ECS Trans View the article online for updates and enhancements. This content was downloaded from IP ... von B Kalkofen · · Zitiert von: 8 — To cite this article: Bodo Kalkofen et al ECS Trans View the article online for updates and enhancements. This content was downloaded from IP ...
Investigation of oxide thin films deposited by atomic layer ...ScienceDirect.com
www.sciencedirect.com
von B Kalkofen · · Zitiert von: 7 — shallow doping of silicon. Author links open overlay panel. Bodo Kalkofen a , Akinwumi A. Amusan a , Marco Lisker b , Edmund P. Burte a. Show more. Add ... von B Kalkofen · · Zitiert von: 7 — shallow doping of silicon. Author links open overlay panel. Bodo Kalkofen a , Akinwumi A. Amusan a , Marco Lisker b , Edmund P. Burte a. Show more. Add ...
Chemische Gasphasenabscheidung von Germanium- ...Uni Halle
opendata.uni-halle.de
von IEP Burte — Bodo Kalkofen und Dr. Reinhard Mikuta. Sie alle ließen mich an ihrem umfassenden. Wissen und ihrer langjährigen praktischen Erfahrung bereitwillig teilhaben ... von IEP Burte — Bodo Kalkofen und Dr. Reinhard Mikuta. Sie alle ließen mich an ihrem umfassenden. Wissen und ihrer langjährigen praktischen Erfahrung bereitwillig teilhaben ...
Veröffentlichungen allgemein
Ag films grown by remote plasma enhanced atomic layer ...CORE
core.ac.uk
von AA Amusan · · Zitiert von: 26 — Amusana) and Bodo Kalkofen. Institute of Micro and Sensor Systems, Otto-von-Guericke University, Universitд, Magdeburg,. Germany. Hassan ... von AA Amusan · · Zitiert von: 26 — Amusana) and Bodo Kalkofen. Institute of Micro and Sensor Systems, Otto-von-Guericke University, Universitд, Magdeburg,. Germany. Hassan ...
Epitaxial growth of Si nanowires by a modified VLS method ...Springer
link.springer.com
von A Gewalt · · Zitiert von: 3 — Bodo Kalkofen,; Marco Lisker & … Edmund P. Burte. Show authors Annika Gewalt, Bodo Kalkofen, Marco Lisker & Edmund P. Burte. Authors. von A Gewalt · · Zitiert von: 3 — Bodo Kalkofen,; Marco Lisker & … Edmund P. Burte. Show authors Annika Gewalt, Bodo Kalkofen, Marco Lisker & Edmund P. Burte. Authors.
uni:report Dezember 2018Issuu
issuu.com
— Bodo Kalkofen (hinten), Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Halbleitertechnologie, und sein Kollege Jörg Vierhaus (vorn) uni — Bodo Kalkofen (hinten), Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Halbleitertechnologie, und sein Kollege Jörg Vierhaus (vorn) uni ...
New Materials for Non-Volatile Storage Media in ComputersResearchGate
www.researchgate.net
... Bodo Kalkofen at Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg · Bodo Kalkofen · Otto ... Frank T. Edelmann · Bodo Kalkofen; [...] Florian Zörner Bodo Kalkofen at Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg · Bodo Kalkofen · Otto ... Frank T. Edelmann · Bodo Kalkofen; [...] Florian Zörner.
Artikel & Meinungen
JVSTA ALD & ALE issue is here!baldengineering.com
www.blog.baldengineering.com
— Amusan, Bodo Kalkofen, Hassan Gargouri, Klaus Wandel, Cay Pinnow, Marco Lisker and Edmund P. Burte. J. Vac. Sci. Technol. A 34, 01A126 (2016) — Amusan, Bodo Kalkofen, Hassan Gargouri, Klaus Wandel, Cay Pinnow, Marco Lisker and Edmund P. Burte. J. Vac. Sci. Technol. A 34, 01A126 (2016) ...
ALD/ALE to Showcase Advances in Atomic-Scale ...
blog.lamresearch.com
Bodo Kalkofen, M. Silinskas (Otto von Guericke Univ.); M. Lisker (IHP GmbH, Leibniz‐Institut für Innovative Mikroelektronik); Y.S. Kim (Lam ...
Sonstiges
Bodo Kalkofen | Max Planck Institute of Microstructure Physics
www.mpi-halle.mpg.de
Max Planck Institute of Microstructure Physics. Bodo Kalkofen. Weinberg 2. D Halle. Sachsen-Anhalt.
Bodo Kalkofen - Max-Planck-Institut für MikrostrukturphysikMax-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik
www.mpi-halle.mpg.de
Bodo Kalkofen. Nano-Systems from ions, spins and electrons. bodo.kalkofen@mpi-halle ... Bodo Kalkofen. Weinberg 2. D Halle. Sachsen-Anhalt. Top. Social ...
Advanced Materials Interfacesfatcat.wiki
fatcat.wiki
Atomic Layer Deposition of the Conductive Delafossite PtCoO 2 · bright archive. Dirk Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas ... Atomic Layer Deposition of the Conductive Delafossite PtCoO 2 · bright archive. Dirk Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas ...
Ag films grown by remote plasma enhanced atomic layer ...plasma ALD
www.plasma-ald.com
Bodo Kalkofen, Otto-von-Guericke University. Hassan Gargouri, Sentech Instruments GmbH. Klaus Wandel, Sentech Instruments GmbH. Cay Pinnow, Sentech Instruments ... Bodo Kalkofen, Otto-von-Guericke University. Hassan Gargouri, Sentech Instruments GmbH. Klaus Wandel, Sentech Instruments GmbH. Cay Pinnow, Sentech Instruments ...
Antimony co-doping with phosphorus to form ultrashallow ...USPTO .report
uspto.report
Bodo Kalkofen et al.; "Thin Film Dopant Sources Grown by PALD for Shallow Semiconductor Doping"; Apr. 5, 2018; 2 pages. cited by applicant . Bodo Kalkofen ... Bodo Kalkofen et al.; "Thin Film Dopant Sources Grown by PALD for Shallow Semiconductor Doping"; Apr. 5, 2018; 2 pages. cited by applicant . Bodo Kalkofen ...
Atomic Layer Deposition of Cobalt Phosphide for Efficient ...National Institutes of Health (NIH) (.gov)
www.ncbi.nlm.nih.gov
von H Zhang · · Zitiert von: 52 — Bodo Kalkofen, Dr. Dirk Sander and Dr. Fang Gao for their help with the maintenance of the ALD system and Dr. Sara Azimi for her help to ... von H Zhang · · Zitiert von: 52 — Bodo Kalkofen, Dr. Dirk Sander and Dr. Fang Gao for their help with the maintenance of the ALD system and Dr. Sara Azimi for her help to ...
Atomic Layer Deposition of the Conductive Delafossite ...plasma ALD
www.plasma-ald.com
Bodo Kalkofen, Max Planck Institute of Microstructure Physics. Mindaugas Silinskas, Max Planck Institute of Microstructure Physics. Felix Börrnert, Max Planck ... Bodo Kalkofen, Max Planck Institute of Microstructure Physics. Mindaugas Silinskas, Max Planck Institute of Microstructure Physics. Felix Börrnert, Max Planck ...
Atomic Layer Deposition of the Conductive Delafossite PtCoO2KOBV
opus4.kobv.de
von DJ Hagen · · Zitiert von: 6 — Additional Services. Search Google Scholar Statistics. Metadaten. Author: Dirk J. Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas ... von DJ Hagen · · Zitiert von: 6 — Additional Services. Search Google Scholar Statistics. Metadaten. Author: Dirk J. Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas ...
Atomic layer deposition of B2O3/SiO2 thin films and their ...OUCI
ouci.dntb.gov.ua
Bodo Kalkofen, Akinwumi A. Amusan, Muhammad S. K. Bukhari, Bernd Garke, Marco Lisker, Hassan Gargouri, Edmund P. Burte. https://doi.org Bodo Kalkofen, Akinwumi A. Amusan, Muhammad S. K. Bukhari, Bernd Garke, Marco Lisker, Hassan Gargouri, Edmund P. Burte. https://doi.org
DS 3: Thin Film Characterisation - DPG-Verhandlungendpg-verhandlungen.de
www.dpg-verhandlungen.de
— 3D-Analysis of fine-grained metallic thin films. — •Ahu Öncü, Thomas Hempel, Bodo Kalkofen, Thorsten Halle, and Dana Zöllner. 10:45, DS — 3D-Analysis of fine-grained metallic thin films. — •Ahu Öncü, Thomas Hempel, Bodo Kalkofen, Thorsten Halle, and Dana Zöllner. 10:45, DS
Die Zukunft gemeinsam gestalten - h² und IntelHochschule Magdeburg-Stendal
www.h2.de
... Dr. Bodo Kalkofen angebotene Wahlpflichtmodul "Grundlagen der Halbleitertechnologie", das zahlreichen Zuspruch unter den Studierenden der Dr. Bodo Kalkofen angebotene Wahlpflichtmodul "Grundlagen der Halbleitertechnologie", das zahlreichen Zuspruch unter den Studierenden der ...
Enhanced ferroelectric properties of multilayer SBT-BTN ...Scite.ai
scite.ai
Bodo Kalkofen. et al. Abstract: Ferroelectric SrBi2Ta2O9-(Bi4Ti3)1-xNbxO12 (x = 0.02) (SBT-BTN) multilayer thin films with various stacking periodicity ... Bodo Kalkofen. et al. Abstract: Ferroelectric SrBi2Ta2O9-(Bi4Ti3)1-xNbxO12 (x = 0.02) (SBT-BTN) multilayer thin films with various stacking periodicity ...
Find People with the last name KALKOFENLocate Family
www.locatefamily.com
BODO KALKOFEN. Bittkau Map United States Leave message Background check. 8. BODO KALKOFEN. Neipperger Hoehe 18 Heilbronn Map United States ... BODO KALKOFEN. Bittkau Map United States Leave message Background check. 8. BODO KALKOFEN. Neipperger Hoehe 18 Heilbronn Map United States ...
Journal ArticlesDaegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology
line.dgist.ac.kr
... Bodo Kalkofen, Jae Eun Jang, Y.S. Kim**, and Hyuk-Jun Kwon** (*equally contributed first authors). [28] “Boosting n-type Doping Levels of Ge with Co-doping Bodo Kalkofen, Jae Eun Jang, Y.S. Kim**, and Hyuk-Jun Kwon** (*equally contributed first authors). [28] “Boosting n-type Doping Levels of Ge with Co-doping ...
Kandidaten | UWGSAuwgsa.de
www.uwgsa.de
Bodo Kalkofen. Beruf: Physiker/Ingenieur Alter: 53. Wohnort: Bittkau ... Mein Name ist Bodo Kalkofen, ich bin in Stendal geboren und in Cobbel aufgewachsen. Bodo Kalkofen. Beruf: Physiker/Ingenieur Alter: 53. Wohnort: Bittkau ... Mein Name ist Bodo Kalkofen, ich bin in Stendal geboren und in Cobbel aufgewachsen.
MitarbeiterHochschule Magdeburg-Stendal
www.h2.de
Bodo Kalkofen. Fax: (0391) de. Grundlagen Industriedesign. Christian Felsch von Wild. Fax: (0391) E-Mail ... Bodo Kalkofen. Fax: (0391) de. Grundlagen Industriedesign. Christian Felsch von Wild. Fax: (0391) E-Mail ...
Plasma-assisted atomic layer deposition of germanium ...American Institute of Physics
pubs.aip.org
von M Šilinskas · · Zitiert von: 1 — Plasma-assisted atomic layer deposition of germanium antimony tellurium compounds ; Mindaugas Šilinskas · Mindaugas Šilinskas ; Bodo Kalkofen · Bodo Kalkofen. von M Šilinskas · · Zitiert von: 1 — Plasma-assisted atomic layer deposition of germanium antimony tellurium compounds ; Mindaugas Šilinskas · Mindaugas Šilinskas ; Bodo Kalkofen · Bodo Kalkofen.
SearchInternet Archive Scholar
scholar.archive.org
Mindaugas Šilinskas, Marco Lisker, Bodo Kalkofen, Serhiy Matichyn, Edmund P. Burte Lithuanian Journal of Physics. Preserved Fulltext. fulltext thumbnail. Mindaugas Šilinskas, Marco Lisker, Bodo Kalkofen, Serhiy Matichyn, Edmund P. Burte Lithuanian Journal of Physics. Preserved Fulltext. fulltext thumbnail.
Silinskas, M., Lisker, M., Kalkofen, B., Matichyn, S. and Burte, ...SCIRP
www.scirp.org
AUTHORS: Oleksandr Khorkhordin, Chia-Pin Yeh, Bodo Kalkofen, Edmund Burte. KEYWORDS: Ferroelectric, SBT, BTN, MOCVD, Multilayer. JOURNAL NAME: Journal of ... AUTHORS: Oleksandr Khorkhordin, Chia-Pin Yeh, Bodo Kalkofen, Edmund Burte. KEYWORDS: Ferroelectric, SBT, BTN, MOCVD, Multilayer. JOURNAL NAME: Journal of ...
43. Treffen der Nutzergruppe Heißprozesse und RTPFraunhofer IISB
www.iisb.fraunhofer.de
— Bodo Kalkofen, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg. Large Scale Graphene Integration for Silicon Technologies Alexander Scheit, IHP — Bodo Kalkofen, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg. Large Scale Graphene Integration for Silicon Technologies Alexander Scheit, IHP ...
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