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Hot-Wire Chemical Vapor Deposition of Chalcogenide ...ACS Publications
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von A Abrutis · · Zitiert von: 65 — Mindaugas Šilinskas, Bodo Kalkofen, Ramasubramanian Balasubramanian, Anatoliy Batmanov, Edmund P. Burte, Nicole Harmgarth, Florian Zörner ... von A Abrutis · · Zitiert von: 65 — Mindaugas Šilinskas, Bodo Kalkofen, Ramasubramanian Balasubramanian, Anatoliy Batmanov, Edmund P. Burte, Nicole Harmgarth, Florian Zörner ...
Diffusion of Phosphorus and Boron from Atomic Layer Deposition...
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Bodo Kalkofen. Institute for Micro and Sensor Systems (IMOS), University of MagdeburgMagdeburg, Germany. Search for more papers by this author
Thermoelectric Properties of Oxygen-Tuned ALD-Grown [Ca ACS Publications
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von J Lybeck · · Zitiert von: 24 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas, Felix Börrnert, Hyeon Han, Stuart S. P. Parkin. Atomic Layer Deposition ... von J Lybeck · · Zitiert von: 24 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas, Felix Börrnert, Hyeon Han, Stuart S. P. Parkin. Atomic Layer Deposition ...
Atomic Layer Deposition of the Conductive Delafossite ...IHP : Innovations for High Performance Microelectronics
www.ihp-microelectronics.com
von DJ Hagen · · Zitiert von: 6 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas,. Felix Börrnert, Hyeon Han, and Stuart S. P. Parkin*. DOI: admi ... von DJ Hagen · · Zitiert von: 6 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas,. Felix Börrnert, Hyeon Han, and Stuart S. P. Parkin*. DOI: admi ...
Deposition of Iridium Thin Films on Three‐Dimensional ...Wiley Online Library
onlinelibrary.wiley.com
von CP Yeh · · Zitiert von: 6 — Bodo Kalkofen,. Bodo Kalkofen. Institute of Micro and Sensor Systems, Otto von Guericke University Magdeburgvon CP Yeh · · Zitiert von: 6 — Bodo Kalkofen,. Bodo Kalkofen. Institute of Micro and Sensor Systems, Otto von Guericke University Magdeburg
Diffusion of phosphorus and boron from ALD oxides into ...Fraunhofer-Publica
publica.fraunhofer.de
von S Beljakowa — Svetlana Beljakowa,* Peter Pichler, Bodo Kalkofen, and René Hübner. S. Beljakowa. Chair of Electron Devices, University Erlangen-Nuremberg, von S Beljakowa — Svetlana Beljakowa,* Peter Pichler, Bodo Kalkofen, and René Hübner. S. Beljakowa. Chair of Electron Devices, University Erlangen-Nuremberg, ...
Fabrication and investigation of three-dimensional ...TIB Hannover
oa.tib.eu
von CP Yeh · · Zitiert von: 25 — Chia-Pin Yeh,1 Marco Lisker,2 Bodo Kalkofen,1,a and Edmund P. Burte1. 1Institute of Micro and Sensor Systems, Otto von Guericke University Magdeburg ... von CP Yeh · · Zitiert von: 25 — Chia-Pin Yeh,1 Marco Lisker,2 Bodo Kalkofen,1,a and Edmund P. Burte1. 1Institute of Micro and Sensor Systems, Otto von Guericke University Magdeburg ...
High temperature reactive ion etching of iridium thin films ...Semantic Scholar
pdfs.semanticscholar.org
von CP Yeh · · Zitiert von: 3 — Chia-Pin Yeh,1 Marco Lisker,2 Bodo Kalkofen,1,a and Edmund P. Burte1. 1Institute of Micro and Sensor Systems, Otto von Guericke University ... von CP Yeh · · Zitiert von: 3 — Chia-Pin Yeh,1 Marco Lisker,2 Bodo Kalkofen,1,a and Edmund P. Burte1. 1Institute of Micro and Sensor Systems, Otto von Guericke University ...
High temperature reactive ion etching of iridium thin films with ...AIP.ORG
pubs.aip.org
Bodo Kalkofen. ORCID logo ;. Bodo Kalkofen a). 1Institute of Micro and Sensor Systems,. Otto von Guericke University Magdeburg. Bodo Kalkofen. ORCID logo ;. Bodo Kalkofen a). 1Institute of Micro and Sensor Systems,. Otto von Guericke University Magdeburg.
Forschungsbericht 2016Forschungsportal Sachsen-Anhalt
forschung-sachsen-anhalt.de
— Bodo Kalkofen. Förderer: Industrie; Atomlagenabscheidung von Dotieroxiden. Mittels Atomlagenabscheidung (ALD) — Bodo Kalkofen. Förderer: Industrie; Atomlagenabscheidung von Dotieroxiden. Mittels Atomlagenabscheidung (ALD) ...
Gerhard Schelltrauerundgedenken.de
www.trauerundgedenken.de
— Brigitte und Bodo Kalkofen. Regina und Christoph mit Familien. Helga und Hans. Die Trauerfeier findet am Donnerstag, den 24. Juli um — Brigitte und Bodo Kalkofen. Regina und Christoph mit Familien. Helga und Hans. Die Trauerfeier findet am Donnerstag, den 24. Juli um
hugo junkers preis für forschung und innovationHugo-Junkers-Preis
www.hugo-junkers-preis.de
— Bodo Kalkofen. BEWERBER. INSTITUTION. Otto-von-Guericke-Universität Mag- deburg, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (FEIT) — Bodo Kalkofen. BEWERBER. INSTITUTION. Otto-von-Guericke-Universität Mag- deburg, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (FEIT) ...
Giant Transition-State Quasiparticle Spin-Hall Effect in an ...ACS Publications
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von KR Jeon · · Zitiert von: 24 — Hagen, Jiho Yoon, Haojie Zhang, Bodo Kalkofen, Mindaugas Silinskas, Felix Börrnert, Hyeon Han, Stuart S. P. Parkin. Atomic Layer Deposition ...
2018 IEEE 18th International Conference on ...Proceedings.com - Curran Associates, Inc.
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Bodo Kalkofen ; Basheer Ahmed ; Svetlana Beljakowa ; Marco Lisker ; Y. S. Kim ; Edmund P. Butte. Page 4. AUTOMATED NANOLITHOGRAPHY PROCESS CONTROL FOR RAPID ...
Tellurium-125 chemical shifts of symmetric and unsymmetric ...ACS Publications
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von DH O'Brien · · Zitiert von: 37 — Mindaugas Šilinskas, Bodo Kalkofen, Ramasubramanian Balasubramanian, Anatoliy Batmanov, Edmund P. Burte, Nicole Harmgarth, Florian Zörner ... von DH O'Brien · · Zitiert von: 37 — Mindaugas Šilinskas, Bodo Kalkofen, Ramasubramanian Balasubramanian, Anatoliy Batmanov, Edmund P. Burte, Nicole Harmgarth, Florian Zörner ...
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Bodo Kalkofen, Mindaugas Šilinskas, Marco Lisker, Y S. Kim, and Edmund P. Burte. Atomic layer deposited solid sources for doping of high aspect ratio ...
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... Bodo Kalkofen, Edmund P. Burte, AIP Advances 6. (2016) [349] D.J. Wouters, D. Maes, L. Goux, J.G. Lisoni, V. Paraschiv, J.A. Johnson,. M. Schwitters Bodo Kalkofen, Edmund P. Burte, AIP Advances 6. (2016) [349] D.J. Wouters, D. Maes, L. Goux, J.G. Lisoni, V. Paraschiv, J.A. Johnson,. M. Schwitters ...
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