Frank Barkusky

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Optimierung und Charakterisierung einer XUV- ...CORE

core.ac.uk

von PS Großmann · — Frank Barkusky als auch Herrn Dr. Armin Bayer für die vielen fruchtbaren wissenschaftlichen Diskussionen und. Anregungen während der Arbeit ... von PS Großmann · — Frank Barkusky als auch Herrn Dr. Armin Bayer für die vielen fruchtbaren wissenschaftlichen Diskussionen und. Anregungen während der Arbeit ...

Geschäftsbericht Laser-Laboratorium Göttingen e.V.YUMPU

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— Frank Barkusky:. Erzeugung intensiver EUV-Strahlung und deren Wechselwirkung mit Materie, Dissertation,. Universität — Frank Barkusky:. Erzeugung intensiver EUV-Strahlung und deren Wechselwirkung mit Materie, Dissertation,. Universität ...

EUV damage threshold measurements of Mo/Si multilayer ...Springer

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von M Müller · · Zitiert von: 18 — Frank Barkusky,; Torsten Feigl & … Klaus Mann. Show authors ... Frank Barkusky. Authors. Matthias Müller. View author publications. von M Müller · · Zitiert von: 18 — Frank Barkusky,; Torsten Feigl & … Klaus Mann. Show authors ... Frank Barkusky. Authors. Matthias Müller. View author publications.

Ablation of Polymers by Focused EUV Radiation From a ...Amanote Research

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Ablation of Polymers by Focused EUV Radiation From a Table-Top Laser-Produced Plasma Source by Frank Barkusky, Armin Bayer, Klaus Mann published in. Ablation of Polymers by Focused EUV Radiation From a Table-Top Laser-Produced Plasma Source by Frank Barkusky, Armin Bayer, Klaus Mann published in.

Emerging Lithographic Technologies X | (2006) | PublicationsSPIE, the international society for optics and photonics

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... Frank Barkusky, Armin Bayer, et al. Show abstract. We report on design, testing and first applications of an integrated EUV source and beam delivery system Frank Barkusky, Armin Bayer, et al. Show abstract. We report on design, testing and first applications of an integrated EUV source and beam delivery system ...

Damage testing of EUV Optics and Sensors using focused ...ResearchGate

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Frank Barkusky · J.-O. Dette · Klaus R. Mann. Triggered by the roadmap of the semiconductor industry, tremendous progress has been achieved in the ... Frank Barkusky · J.-O. Dette · Klaus R. Mann. Triggered by the roadmap of the semiconductor industry, tremendous progress has been achieved in the ...