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Beiträge zur Thermodynamik und Kinetik heterogener Reaktionen der Siliciumchemie
von Jörg Acker, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2005, Taschenbuch
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Jörg Acker is an academic researcher from Leibniz Association. The author has contributed to research in topics: Isotropic etching & Silicon.
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