Michael Von Borstel - Wissenschaftliche Veröffentlichungen

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US Patent for Gas laser with mode control Patent (Patent # 6,512,

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Inventors: Michael Von Borstel (Pleidelsheim), Mark Geschwandner (Corlingen), Tanja Behrends (Ditzingen) Primary Examiner: Paul Ip

Erzeugung von EUV-Licht für die Fotolithographie —...

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Dr. Michael von Borstel TRUMPF Laser- und Systemtechnik GmbH Ditzingen: Termin übernehmen: vCal iCal: Navigation. Universität im Überblick; Profil; Presse, Kommunikation und Marketing; Veranstaltungskalender. Veranstaltungen des Präsidenten; Tagungen; Vorträge; Seminare/Kolloquien. Erzeugung von EUV-Licht für die Fotolithographie ; Ausstellungen; …

US Patent for Controlling temperature differences in a gas laser...

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Inventor: Michael von Borstel (Pleidelsheim) Primary Examiner: Yuanda Zhang Assistant Examiner: Michael Carter Application Number:

Erzeugung von EUV-Licht für die FotolithographieJustus-Liebig-Universität Gießen

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US Patent for Laser tube for high-frequency laser and laser...

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Wissenschaftliche Veröffentlichungen Michael Von Borstel

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